Введение
ГЛАВА I. Современное состояние вопроса измерения геометрических размеров элементов топологии ИМС
1.1. Специфика элементов топологии ИМС как объектов измерения и оценка степени доверия к принятым допущениям
1.2. Анализ известных методов и средств измерения размеров и определения формы микроэлектронных структур 15
1.3. Метрологический анализ погрешностей дифрактометрических измерений в технологии ИМС 23
Выводы по главе I 31
ГЛАВА II. Совершенствование методики обработки результатов дифрактометрических измерений 32
2.1. Модельный анализ восстановления размеров по дифракционному спектру отраженного когерентного монохроматического излучения 32
2.2. Модификация методов половинных делений и секущих углов для оптимизации функции многих переменных при компьютерной обработке результатов дифрактометрии 42
2.3. Численные эксперименты по обработке данных по дифракции когерентного монохроматического излучения на элементах топологии ИМС 52
Выводы по главе II 64
ГЛАВА III. Экспериментальная проверка разрабатываемого программного комплекса и особенности его практичекого использования 65
3.1. Особенности реализации ключевых компонентов разрабатываемого программного комплекса 65
3.2. Тестирование программного комплекса 83
3.3. Применение программного комплекса при измерении размеров тест-объектов и оценка его эффективности 98
Выводы по главе III 102
Выводы по работе 103
Литература 105
Приложения 114
