Введение
Часть 1. Механизмы воздействия ультрафиолетового излучения на low-k материалы - 10
Глава 1. Современные low-k материалы - 10
1.1. Классификация low-k материалов и способы их производства - 12
1.2. Основные методы диагностики low-k пленок - 16
1.3. Проблемы, возникающие при интегрировании low-k материалов в существующие технологические процессы - 20
1.4. Материалы, исследуемые в работе - 22
Глава 2. Механизмы модификации low-k материалов под действием ультрафиолетового излучения - 24
2.1. Экспериментальные установки для исследования воздействия на low-k
материалы ультрафиолетового излучения - 24
2.1.1. Установка для исследования воздействия на low-k пленки ультрафиолетового (13.5 нм) излучения оловянной плазмы - 24
2.1.2. Установка для исследования воздействия на low-k пленки ультрафиолетового (58 нм, 106 нм и 147 нм) излучения плазмы He, Ar и Xe - 25
2.1.3. Установка для исследования воздействия на low-k пленки ультрафиолетового (193 нм) излучения ArF лазера - 26
2.2. Модификация пористых low-k материалов под действием ультрафиолетового излучения - 28 2.3. Теоретическая модель описания поглощения ультрафиолетового излучения в low-k материалах - 35
2.4. Влияние пористости на механизмы взаимодействия low-k материалов с ультрафиолетовым излучением - 42
2.5. Взаимодействие low-k материалов с атомами фтора в плазме индукционного разряда SF6 - 46
2.5.1. Экспериментальная установка - 47
2.5.2. Основные результаты - 48
Часть 2. Способы контроля уровня ультрафиолетового излучения в плазме аргона - 52
Глава 3. Оптический эмиссионный метод диагностики плазмы - 53
3.1. Диагностика возбужденных атомных состояний в плазме аргона - 53 -
2 3.2. Диагностика концентрации электронов и функции распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) в плазме аргона - 57
3.3. Простейшая модель, иллюстрирующая основные принципы оптического эмиссионного метода - 62
3.4. Краткий обзор альтернативных методов плазменной диагностики - 68
Глава 4. Диагностика концентраций возбужденных атомных уровней в плазме аргона. Контроль уровня ультрафиолетового излучения - 74
4.1. Методы диагностики возбужденных атомных уровней в плазме аргона - 74
4.2. Экспериментальная установка - 78
4.3. Получение населенностей метастабильных и резонансных атомных уровней - 81
4.4. Контроль уровня ультрафиолетового излучения - 92
4.5. Влияние примесей - 93
Глава 5. Столкновительно-радиационная модель вычисления концентраций возбужденных атомных уровней в плазме аргона - 97
5.1. Процессы, учтенные в столкновительно-радиационной модели - 98
5.2. Столкновительно-радиационная модель - 105
5.3. Обсуждение результатов в рамках столкновительно-радиационной модели - 112 Заключение - 114
Литература
