Модификация поверхности многослойных кремниевых систем излучением KrF лазера
Тюнина, Марина Анатольевна. Модификация поверхности многослойных кремниевых систем излучением KrF лазера : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07.- Москва, 1993.- 24 с.: ил.