Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор 15
1.1 Общие понятия о плазмонных наноструктурах. Нанофотоника и наноплазмоника 15
1.2 Оптические свойства плазмонных наноструктур и волноводов 19
1.3 Использование плазмонных наноструктур и волноводов 30
1.4 Методы и существующие решения синтеза плазмонных наноструктур 51
1.5 Модификация поверхности стекол электронным облучением 63
1.6 Градиентные оптические волноводы 70
1.7 Микрофлюидные каналы 77
1.8 Выводы по главе 1 79
ГЛАВА 2. Методическая часть 81
2.1 Серебряные, золотые и медные наноструктуры. Выбор материала 81
2.2 Образцы силикатных стекол 85
2.3 Электронное облучение. Установка сканирующего электронного микроскопа 89
2.4 Моделирование процессов облучения 90
2.5 Оптические и спектроскопические методы исследования и измерения 99
2.6 Термообработка 100
2.7 Химическое травление металлических пленок и поверхности силикатных стекол 101
ГЛАВА 3. Исследование воздействия электронного облучения на силикатные стекла с ионами, наночастицами и молекулярными кластерами металлов при создании плазмонных наноструктур 102
3.1 Электронное облучение стекол с ионами серебра. Создание серебряных пленок и наночастиц в приповерхностных слоях 102
3.2 Электронное облучение стекол с наночастицами золота. Создание золотых пленок и наночастиц на поверхности 117
3.3 Электронное облучение стекол с молекулярными кластерами и ионами меди. Увеличение концентрации и рост молекулярных кластеров меди 122
3.4 Выводы по главе 3 133
ГЛАВА 4. Исследование воздействия электронного облучения на силикатные стекла с металлическими пленками при создании плазмонных наноструктур 135
4.1 Растворение поверхностных серебряных пленок при электронном облучении и создание серебряных плазмонных наноструктур в приповерхностных слоях стекла 135
4.2 Растворение поверхностных золотых пленок при электронном облучении и формирование золотых наноструктур в приповерхностных слоях стекла 143
4.3 Формирование золотых микроструктур на поверхности стекла при электронном облучении золотых пленок 147
4.4 Создание медных микроструктур на поверхности стекла при электронном облучении медных пленок 155
4.5 Выводы по главе 4 161
ГЛАВА 5. Исследование воздействия электронного облучения на силикатные стекла при создании градиентныхволноводов и микроканалов 163
5.1 Запись градиентных волноводов сканирующим электронным облучением силикатных стекол 163
5.2 Химическое травление облученных стекол с записанными волноводами. Формирование микроканалов 169
5.3 Выводы по главе 5 171
Заключение 173
Список сокращений и условных обозначений 177
Список литературы
