Модификация приповерхностных слоев Si, GaN и -C:H облучением ионами PFn средних энергий
Карабешкин, Константин Валерьевич. Модификация приповерхностных слоев Si, GaN и -C:H облучением ионами PFn средних энергий : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04, 01.04.10 / Карабешкин Константин Валерьевич; [Место защиты: С.-Петерб. гос. политехн. ун-т].- Санкт-Петербург, 2013.- 131 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-1/573
