Введение
Глава 1 Методы контроля рельефа поверхности 8
1.1 Поверхностная профилометрия 8
1.2 Сканирующая зондовая микроскопия 10
1.3 Оптическая микроскопия 11
1.4 Электронная микроскопия 18
1.5 Выводы 20
Глава 2 . Математическая модель 21
2.1 Математическая модель рельефа 21
2.2 Математическая модель системы формирования изображения 23
2.3 Математическая модель изображения рельефа 29
2.4 Постановка задачи 33
2.5 Выводы 37
Глава 3 Морфологический анализ кривой измерения фокуса 39
3.1 Описание методов морфологического анализа 39
3.2 Форма кривой измерений фокуса 47
3.3 Проектор на форму кривой дисперсий 49
3.4 Примеры 55
3.5 Выводы 57
Глава 4 Адекватность модели и оценивание параметра формы 58
4.1 Модель регистрации сигнала 58
4.2 Нелинейная минимаксная оценка погрешности 60
4.3 Стохастическая модель измерения 65
4.4 Выводы 83
Глава 5 Реализация, применение, результаты 84
5.1 Аппаратура 84
5.2 Алгоритмы 89
5.3 Программная реализация 100
5.4 Активное освещение 102
5.5 Результаты 108
Заключение 119
Список литературы
