Введение
Глава 1 Применение метода отражательной спектральной магнитоэллипсометрии для исследования оптических и магнитооптических свойств силицидов Fe5Si3 nFe3Si 11
1.1 Основное уравнение эллипсометрии, прямая и обратная задачи 15
1.2 Традиционные модели отражающей поверхности образца 16
1.3 Магнитооптические измерения на отражение 26
1.4 Методы оптимизации эллипсометрической модели. Регрессионный анализ 35
Глава 2 Экспериментальное оборудование, аппаратура и методы исследования 39
2.1 Технологическое оборудование для получения тонких плёнок 39
2.2 Экспериментальные методы исследования 41
2.3 Методология анализа структурных и магнитооптических свойств с помощью спектральной эллипсометрии
2.3.1 Модель случайно-распределённых дисков 59
2.3.2 Алгоритм расчёта магнитооптических параметров ферромагнетика по данным магнитоэллипсометрии 68
2.3.3 Обоснование выбора метода определения экстремумов ункции минимизации 72
2.4 Выводы к главе 75
Глава 3 Исследование влияния технологических условий на формирование метастабильной при комнатной температуре фазы силицида FesSb 77
3.2 Формирование островковых образцов стехиометрического состава Fe5Si3 методом послойного осаждения Fe и Si на поверхность SiCVSiQOO) в различных технологических условиях 87
3.3 Анализ морфологии островковых образцов стехиометрического состава FesSi3 методами атомно-силовой микроскопии, растровой электронной микроскопии и спектральной эллипсометрии 93
3.4 Выводы к главе 114
Глава 4 Анализ магнитных и спектральных магнитооптических характеристик структур Fe5Si3/SiO2/Si(100) и Fe3Si/Si(l 11) методами ех situ и in situ отражательной спектральной магнитоэллипсометрии 115
4.1 Апробация метода спектральной магнитоэллипсометрии при анализе структуры Fe/Si02/Si( 100) 115
4.2 Анализ магнитных и магнитооптических свойств структуры Fe5Si3/SiO2/Si(100) методами ex situ спектральной магнитоэллипсометрии 124
4.3 Анализ магнитных и магнитооптических свойств структуры Fe3Si/Si(lll) методами ex situ спектральной магнитоэллипсометрии 130
4.4 Выводы к главе 135
Заключение 137
Список сокращений и условных обозначений 139
Список литературы
