Нанесение прозрачных проводящих покрытий на основе оксида цинка методом магнетронного распыления
Работкин Сергей Викторович. Нанесение прозрачных проводящих покрытий на основе оксида цинка методом магнетронного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02 / Работкин Сергей Викторович; [Место защиты: Ин-т сильноточ. электроники].- Томск, 2009.- 146 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/822
