Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники
Рябышенков Андрей Сергеевич. Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники: диссертация ... доктора Технических наук: 05.11.13 / Рябышенков Андрей Сергеевич;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»], 2018.- 288 с.