Введение
Глава I. Фазовые превращения в тонкопленочных системах, содержащих станнаты свинца, титанаты свинца и их твердые растворы 10
1. Особенности синтеза РЬТіОз, PbSn03 и твердых растворов в данной системе 10
2. Нелинейные диэлектрические свойства сегнетоэлектрических соединений АВОз и твердых растворов на их основе 12
3. Сравнительная характеристика химической связи и кристаллической структуры в оксидах титана, свинца и олова 40 ЗЛ. Химические и некоторые физические свойства
простых оксидов титана, свинца и олова 40
3.2. Термическая устойчивость оксидов титана, свинца и олова 45
3.3. Нестехиометрия и дефекты структуры в оксидах титана, свинца и олова 49
Глава II. Получение тонких пленок станнатов-титанатов свинца и методы исследования 59
1. Подготовка исходных подложек 59
2. Метод магнетронного напыления 59
3. Отжиг тонких пленок в печи резистивного нагрева 61
4. Оксидирование при пониженном давлении кислорода и фотонном нагреве подложек 62
5. Методики исследования образцов 63
5.1. Осциллографический метод исследования петель гистерезиса 64
5.2. Измерения на переменном токе 66
Глава III. Синтез и фазовый состав тонких пленок станнатов свинца 70
1. Взаимодействие в тонкопленочных структурах свинца с оксидами олова и олова с оксидами свинца 70
2. Фазовые превращения в тонкопленочных структурах, содержащих свинец и олово на монокристаллическом кремнии, в процессе отжига в потоке кислорода 77
2.1. Отжиг гетероструктур с межфазными границами олово-свинец-кремний 77
2.2. Отжиг гетероструктур с межфазными границами свинец-олово-кремний 82
Глава IV. Фазовый состав и микроструктура тонких пленок станнатов-титанатов свинца 88
1. Особенности взаимодействия в гетероструктуре Pb/Sn/Ti/Si при самораспылении свинца из собственного расплава 88
2. Зависимость состава и структуры формируемых пленок от межфазных границ в исходной тонкопленочной гетероструктуре 93
3. Зависимость состава и структуры формируемых пленок от температуры отжига 100
4. Зависимость состава и структуры формируемых пленок от содержания олова 103
4 Глава V. Электрофизические свойства твердых растворов станнатов-титанатов свинца 105
1. Зависимость диэлектрических свойств формируемых пленок от последовательности металлических слоев в исходной тонкопленочной гетероструктуре 105
2. Зависимость диэлектрических свойств формируемых пленок от температуры отжига 114
3. Зависимость диэлектрических свойств формируемых пленок от содержания олова 117
Заключение 123
Выводы 124
Литература
