Введение
ГЛАВА 1. Новые материалы для интегральной оптики и наноэлектроники 14
1.1. Слоистые двумерные материалы для устройств микро- и наноэлектроники 14
1.1.1. Полупроводниковые халькогениды переходных металлов и их свойства 16
1.1.2. Применение дихалькогенидов переходных металлов в устройствах микроэлектроники 20
1.1.3. Методики получения двумерных полупроводниковых структур
1.2. Ниобат лития как материал интегральной оптики 27
1.2.1. Применение ниобата лития в интегральной оптике 29
1.2.2. Методики получения доменных структур ниобата лития 32
1.3. Выводы по главе 1 34
ГЛАВА 2. Методы исследования 36
2.1. Генерация второй оптической гармоники 36
2.2. Конфокальная оптическая микроскопия 40
2.3. Нелинейно оптическая конфокальная микроскопия 42
2.4. Атомно-силовая микроскопия 43
2.5. Экспериментальная установка 46
ГЛАВА 3. Экспериментальные и теоретические исследования двумерных полупроводниковых структурхалькогенидов переходных металлов 51
3.1. Создание двумерных полупроводниковых структур 51
3.2. Экспериментальные исследования особенностей краевых эффектов в генерации второй оптической гармоники в наноразмерных слоях дихалькогенидов переходных металлов 52
3.3. Численный расчёт усиления интенсивности оптического излучения с учетом интерференционных эффектов 67
3.4. Экспериментальные исследования политипизма в слоях дихалькогенидов переходных металлов 79
3.5. Комплексная методика оптического контроля характеристик дихалькогенидов переходных металлов 91
3.6. Выводы по главе 3 93
ГЛАВА 4. Экспериментальные и теоретические исследования доменных структур ниобата лития 95
4.1. Создание доменных структур в кристалле ниобата лития 95
4.2. Экспериментальные исследования доменных структур ниобата лития методом нелинейно-оптической конфокальной микроскопии 97
4.3. Моделирование мощности генерации второй оптической гармоники в доменных структурах ниобата лития 103
4.4. Выводы по главе 4 113
ГЛАВА 5. Создание на основе халькогенидов переходных металлов и ниобата лития устройств интегральной оптики и наноэлектроники 115
5.1. Создание экспериментального образца высокочувствительного фотодетектора на основе монослойного кристаллита MoS2 115
5.2. Выводы по главе 5 125
Заключение 127
Список цитируемой литературы 131
