Введение
Глава 1. Термочувствительные материалы и конструктивные особенности элементов неохлаждаемых микроболометрических матриц . 9
1.1. Основные характеристики и требования к термочувствительному слою микроболометра 9
1.2. Пленки окислов ванадия. 13
1.3. Пленки аморфного и поликристаллического кремния, германия и их соединений . 19
1.4. Пленки полупроводникового аморфного Y-Ba-Cu-O 26
1.5. Пленки манганитов 30
1.6. Пленки титана 34
1.7. Выводы 35
Глава 2. Сравнительные исследования сэндвичных и плоскостных микроболометрических структур 39
2.1. Сэндвичные структуры на основе пленок aSi:H 39
2.2. Плоскостные структуры на основе VOx пленок 46
2.3. Оптические характеристики структур 48
2.4. Выводы 54
Глава 3. Особенности использования пленок VOx в качестве термочувствительного слоя болометра . 55
3.1. Работа VOx болометра в интервале температур, включающем фазовый переход 55
3.1.1. Устройство болометра 56
3.1.2. Зависимость чувствительности от температуры 58
3.1.3. Исследование шума 64
3.2. Зависимость болометрических свойств VOx пленок от состава и структуры 68
3.3. Выводы 73
Глава 4. Разработка микроболометрической линейки 75
4.1. Расчетное моделирование основных характеристик микроболометрической линейки 75
4.1.1 Расчет теплофизических параметров 75
4.1.2 Моделирование условий достижения максимальной вольтовой чувствительности и обнаружительнои способности 80
4.1.3 Моделирование условий получения минимальной NETD прибора, использующего МБЛ 89
4.1.4. Выводы 94
4.2. Топология, структура и технология изготовления МБЛ 95
4.3. Исследование характеристик микроболометров 100
4.4. Возможные пути улучшения характеристик микроболометров 105
4.5. Исследование временной стабильности характеристик микроболометров 106
4.6. Влияние давления окружающего воздуха на вольтовую чувствительность микроболометра 108
4.7. Результаты 113
Заключение 115
Список публикаций автора 119
Литература
