Введение
Глава 1 Методы азотирования титана 14
1.1. Газовое азотирование 15
1.2. Азотирование в плазме тлеющего разряда 19
1.3. Ионная имплантация 30
1.4. Лазерное азотирование 34
1.5. Азотирование в плазме дугового разряда 37
1.6. Выводы 40
Глава 2 Генераторы низкотемпературной плазмы на основе разряда низкого давления с полым катодом 43
2.1. Описание установки и ее основных узлов 43
2.2. Генератор плазмы на основе дугового разряда с полым катодом 47
2.2.1. Параметры плазмы в полом аноде 56
2.2.2. Поступление материала катода в анодную полость 61
2.3. Генератор плазмы с составным катодом 64
2.4. Генератор плазмы на основе несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом 72
2.5. Выводы 81
Глава 3 Азотирование титана 82
3.1. Азотирование технического титана в плазме несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом. 82
3.2. Влияние состава смеси рабочего газа на процесс азотирования титана в несамостоятельном тлеющем разряде низкого давления 92
3.3. Выводы І 98
Заключение 99
Список литературы 101
