Введение
Глава 1. Кантилеверы и зонды для атомно-силового микроскопа 15
1.1. Перспективные разработки .15
1.2. Параметры консоли кантилевера 23
1.3. Физико-топологические параметры активных зондовых сенсоров 29
1.4. Ионное распыление зондов 36
1.5. Задача определения формы зонда 43
1.3. Выводы 48
Глава 2. Нормальные силовые взаимодействия в атомно-силовом микроскопе . .49
2.1. Парные потенциалы взаимодействия. ... 49
2.2. Взаимодействие зонд-образец с учетом геометрии зонда . 54
2.2.1. Континуальное приближение . .55
2.2.2. Приближение дискретных атомных плоскостей. . . 63
2.2.3. Учет дальнодействующих сил ... 67
2.3. Взаимодействие нанотрубки-зонда и образца ..71
2.4. Гидрофобное взаимодействие зонда с толстой жидкой пленкой . 77
2.4.1. Сила взаимодействия 79
2.4.2. Флуктуации параметров .81
2.5. Гидрофильное взаимодействие зонда с тонкой жидкой пленкой
с учетом размерного эффекта поверхностного натяжения 84
2.6. Субмонослойная адсорбция в системе зонд-образец . .91
2.5. Выводы 96
Глава 3. Латеральные силовые взаимодействия в атомно-силовом микроскопе
3.1. Адгезионная модель трения в наноконтактах
3.2. Дислокационная модель трения в наноконтактах.
3.3. Статистическая модель трения в наноконтактах
3.4. Оценка диссипативных сил в бесконтактном режиме.
3.5. Выводы
Глава 4. Анализ режимов функционирования сканирующего зондового микроскопа .
4.1. Туннельные режимы.
4.2. Режимы регистрации нормальных сил.
4.3. Модуляционные режимы.
4.4. Режим регистрации латеральных сил.
4.5. Акустические измерения в атомно-силовом микроскопе.
4.6. Выводы
Глава 5. Моделирование и обработка сигналов в атомно-силовом микроскопе . .
5.1. Моделирование сигналов в атомно-силовом микроскопе.
5.2. Применение двумерной статистической модели для моделирования силовой кривой.
5.3. Искажения сигналов в сканирующем зондовом микроскопе
5.4. Применение вейвлет-преобразования для обработки сигналов в сканирующем зондовом микроскопе
5.5. Выводы
Глава 6. Применение атомно-силового микроскопа для исследования физических свойств поверхностей твердых тел ...
6.1. Спектроскопия в режиме регистрации нормальных сил.
6.2. Спектроскопия в режиме регистрации латеральных сил.
6.3. Контактная емкостная спектроскопия
6.4. Обратная задача в континуальном приближении .
6.5. Интерпретация некоторых экспериментов по нанолитографии.
6.6. Выводы
Заключение .
Библиографический список ...
Приложение 1
