Введение
1. Ацилиодиды и их превращения 9
1.1. Методы синтеза 9
1.1.1. Реакция ацилхлоридов с йодидами металлов 9
1.1.2. Реакция ацилхлоридов с иодоводородом. 10
1.1.3. Реакция с иодом и фосфором или трииодидом фосфора. 11
1.1.4. Реакция с иодсиланами. 11
1.2. Физико-химические свойства ацилиодидов 14
1.3. Реакционная способность 20
1.3.1. Термолиз 20
1.3.2. Фотолиз 22
1.3.3. Гидролиз 22
1.3.4. Реакции с галогенами и галогеноводородами 23
1.3.5. Ал кого лиз 25
1.3.6. Взаимодействие с карбоновыми кислотами 27
1.3.7. Реакции с аминоалканкарбоновыми кислотами 30
1.3.8. Взаимодействие с ациклическими эфирами 31
1.3.9. Реакции с циклическими эфирами 35
1.3.10. Взаимодействие со сложными эфирами 37
1.3.11. Реакции с карбонильными соединениями 41
1.3.12. Взаимодействие с ароматическими и гетероароматическими соединениями 42
1.3.13. Реакции с непредельными соединениями 43
1.3.14. Взаимодействие с азот-, фосфор- и серусодержащими соединениями 44
1.3.15. Взаимодействие с металлами и элементорганическими соединениями 46
1.3.16. Взаимодействие с комплексными соединениями 48
2. Ацилиодиды в органическом и элементоорганическом синтезе 51
2.1. Взаимодействие ацилиодидов с аминами 51
2.1.1. Реакции с первичными и вторичными аминами 51
2.1.2. Реакции с третичными аминами с расщеплением связи N-C 53
2.2 Реакции с циклическими аминами - морфолином, пиперидином и его N-замещенными 56
2.3. Взаимодействие с ИДЧ-диметилформамидом и N,N-диметилацетамидом 60
2.4. Взаимодействие ацилиодидов с гидразинами 62
2.5. Взаимодействие ацетилиодида с аминосиланами 66
2.6 Реакции три метил иодси лана с М,Т<[-диметиламидами карбоновых кислот 61
2.7. Взаимодействие ацилиодидов с силанами 69
2.7.1. Взаимодействие ацилиодидов с триорганилсиланами R3SiH 69
2.7.2. Взаимодействие ацилиодидов с алкокси- и гидроксисиланами 70
3. Новые полифункциональные кремнийазотсодержащие реагенты для микроэлектроники 72
3.1. Давление насыщенного пара и термодинамические характеристики процессов испарения кремнийорганических прекурсоров 74
3.2. Термодинамическое моделирование процессов осаждения твердых фаз из RxSi(NRiR2)4-x 76
3.3. Осаждение тонкослойных структур из синтезированных прекурсоров с использованием плазмохимического метода (PECVD) 81
3.3.1. Разработка метода синтеза покрытий карбонитрида кремния исходя из триметил(диэтиламино)силана и изучение их физико-химических свойств 81
3.3.2. Разработка метода синтеза покрытий карбонитрида кремния исходя из триметил(аллиламиыо)силана и изучение их физико-химических свойств 85
3.3.3. Разработка метода синтеза покрытий карбонитрида кремния исходя из триметил(фениламино) силана и изучение их физико-химических свойств 88
4. Экспериментальная часть 93
Выводы 112
