Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор 12
1,1. Собственное термическое окисление GaAs 12
1.2 Современные методы создания диэлектрических слоев на GaAs 18
1.3 Хемостимулированное окисление арсеиида галлия с участием оксидов-активаторов 28
ГЛАВА 2. Методика исследования термического окисления Gaas под воздействием совместно вводимых и пространственно разделенных композиций активаторов; инструментальные методы анализа слоев и композиций активаторов
2.1. Характеристика материалов 40
2.1.1 Арсенид галлия
2.1.2 Оксид свинца (И) 41
2.1.3 Оксид сурьмы (III) 42
2.1.4 Оксид висмута (111) 42
2.1.5 Оксид марганца (IV) 43
2.1.6 Оксид ванадия (V) 44
2.1.7 Физико-химические взаимодействия между оксидами-активаторами 45
2.2 Способ установления локализации каналов связи между оксидами-активаторами при их совместном воздействии на термическое окисление GaAs 51
2.3 Методика термооксидирования GaAs в присутствии композиций двух оксидов-активаторов
2.4 Методика обработки результатов 57
2.5 Методы исследования слоев и превращений хемостимуля-торов 59
2.5.1. Рентгенофазовый анализ (РФА) 59
2.5.2 Рентгеноспектральный флуоресцентный анализ (РСФА) 60
2.5.3 Инфракрасная спектроскопия (ИКС) 62
2.5.4 Локальный рентгеноспектральный микроанализ (ЛРСМА) 63
2.5.5 Масс-спектрометрия 64
ГЛАВА 3. Локализация каналов связи между соединениями-активаторами при хемостимулированном термооксидировании Gaas с участием оксидов системы Sb203-Bi203-Pb0 69
3.1. Взаимное влияние активаторов в композициях SD2O3+B12O3 в процессе их воздействия на термическое окисление GaAs
3.2 Вклад твердофазных взаимодействий между оксидами-активаторами в нелинейный эффект воздействия композиций PbO+Sb203 и РЬО+Ві203 на процесс термооксидирования GaAs 76
ГЛАВА 4. Термическое окисление GaAs при совместном и пространственно разделенном воздействии оксидов свинца (II) и марганца (IV) 85
4.1. Термическое окисление GaAs в присутствии композиций РЬО+Мп02 85
4.2. Локализация связывающих взаимодействий между оксидом свинца (II) и оксидом марганца (IV) при их совместном воздействии на термическое окисление GaAs 93
ГЛАВА 5. Термическое окисление gaas при совместном и пространственно разделенном воздействии оксидов ванадия (V) и марганца (IV) 99
5.1. Термическое окисление GaAs в присутствии композиций V205+Mn02 99
5.2. Локализация связывающих взаимодействий между оксидом ванадия (V) и оксидом марганца (IV) при их совместном воздействии на термическое окисление GaAs 107
ГЛАВА 6. Локализация и общие закономерности взаимодействий между активаторами (обсуждение результатов) 113
Выводы 130
Литература 132
