Введение
ГЛАВА 1. Основные параметры диэлектрических материалов 10
1.1. Поляризация диэлектриков... 10
1.2. Влияние внешних факторов на диэлектрические характеристики 16
1.3. Математическое описание процессов поляризации 25
1.4. Диэлектрические характеристики материалов со структурными неоднородностями 28
1.5. Методы определения электрофизических параметров материала 32
1.6. Выводы 39
ГЛАВА 2. Теоретические представления о электроемкостных системах 41
2.1. Классические определения и теория емкостных систем на основе полевых представлений 42
2.2. Модели емкостных систем с поперечным и продольным полем 55
2.3. Емкостные системы со скрещенными полями 69
2.4. Выводы
ГЛАВА 3. Основные практические характеристики емкостных систем. преобразование индуцированного заряда в электрический ток и определение удельной проводимости слоев 74
3.1. Аппроксимация коэффициента передачи емкостных
систем и способы формирования электрического поля 74
3.2. Преобразование индуцированного заряда в электрический ток... 79
3.3. Общий случай преобразования индуцированного заряд в электрический ток 87
3.4. Особенности определения удельной проводимости слоев 92
3.5. Выводы 98
ГЛАВА 4. Экспериментальная установка и особенности конструкции ее элементов 101
4.1. Структурная схема 102
4.2. Зонды 108
4.3. Сканирующее устройство с датчиками синхронизации 112
4.4. Элементы коронатора 115
4.5. Входная цепь и усилительные тракты 119
4.6. Тестовые структуры 122
4.7. Общие методические вопросы 126
4.8. Выводы 131
ГЛАВА 5 Экспериментальные результаты и их интерпретация ... 133
5.1. Методические вопросы определения плотности поверхностного заряда при электризации слоя в поле «короны» 134
5.2. Электризация однородного слоя в поле коронного разряда 138
5.3. Электризация неоднородных слоев 143
5.4. Особенности электризации рельефных поверхностей 153
5.5. Определение диэлектрической проницаемости, плотности поверхностного заряда, удельной проводимости и толщины
в локальной области 158
5.6. Выводы .,: 163
Заключение 165
Список цитированной литературы
