Баранов, Евгений Александрович. Оптическая эмиссионная спектроскопия силансодержащих потоков газа, активированных электронно-пучковой плазмой : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.14 / Баранов Евгений Александрович; [Место защиты: Ин-т теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН].- Новосибирск, 2010.- 91 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-1/348
