Введение
1 Монокристаллы, керамика и плёнки ниобата бария-стронция (литературный обзор) 9
1.1 Температура Кюри материалов BSN как функция состава и структуры в монокристаллах и керамике 10
1.2 Атомная структура ниобата бария-стронция (BSN) 13
1.3 Граница раздела между плёнкой BSN и подложкой 15
1.4 Способы приготовления плёнок BSN 17
1.5 Выводы раздела 1 19
2 Методика получения и исследования плёнок BSN 20
2.1 Получение керамики мишени BSN-50 21
2.2 Установка для напыления плёнок 22
2.3 Определение параметров ячейки и ориентации атомных плоскостей 28
2.4 Измерение диэлектрических свойств мишеней и плёнок 29
2.5 Установка для измерения угловой зависимости интенсивности зеркального отражения 32
2.6 Оптический in-situ контроль роста плёнок 34
3 Формирование пленок BSN в условиях емкостного высокочастотного разряда 38
3.1 Синтез керамики BSN-50, изготовление мишеней и измерения их диэлектрических характеристик 38
3.2 Получение временной серии тонких пленок BSN(Y) на грани (001) MgO 47
3.3 Выводы раздела 3 54
4 Оптические свойства тонких плёнок BSN(t)//MgO(001) структуры BSN(001)//MgO(001) 56
4.1 Пересечение кривых интенсивностей зеркального отражения в одной точке 57
4.2 Плоская волна в анизотропной среде 64
4.3 Дисперсия материала прозрачных плёнок BSN 66
4.4 Измерение толщины серии плёнок 58
4.5 Условия пересечения кривых зеркального отражения 71
4.6 Выводы раздела 4 77
5 Диэлектрические свойства толстой плёнки в структуре Al/BSN/Pt/Si 78
Заключение 88
Список литературы 90
