Введение
Глава 1. Обзор методов контроля качества защитных голограмм и постановка задачи исследований 13
1.1. Особенности защитных голограмм как носителей оптических изображений 13
1.2. Особенности технологии изготовления защитных голограмм 15
1.3. Задачи контроля при изготовлении защитных голограмм 17
1.4. Обзор методов и аппаратуры контроля качества защитных голограмм
1.4.1. Классификация методов контроля качества защитных голограмм 19
1.4.2. Методы контроля защитных голограмм на основе прямых измерений параметров микрорельефа 20
1.4.3. Методы контроля защитных голограмм на основе анализа параметров распределения интенсивности дифракционного поля 21
1.4.4. Объективные и субъективные методы контроля защитных голограмм 23
1.5. Обзор аппаратуры для контроля защитных голограмм на основе прямых измерений параметров микрорельефа 24
1.5.1. Контроль микрорельефа дифракционных решёток атомно-силовыми микроскопами 24
1.5.2. Контроль микрорельефа дифракционных решёток конфокальными микроскопами 26
1.6. Обзор аппаратуры для контроля защитных голограмм на основе
косвенных измерений параметров микрорельефа 28 Стр.
1.7. Постановка задачи исследований диссертационной работы 33
1.7.1. Обоснование актуальности темы диссертации 33
1.7.2. Цель и задачи диссертационной работы 34
Глава 2. Методика контроля качества защитных голограмм
2.1. Постановка задачи исследований при разработке методики контроля качества защитных голограмм 35
2.2. Исследование влияния параметров микрорельефа на распределение интенсивности в дифракционной картине
2.2.1. Математическое описание дифракции на отражающей фазовой дифракционной решётке 40
2.2.2. Анализ зависимости распределения интенсивности в главных максимумах дифракционной картины от параметров микрорельефа 43
2.3. Исследование влияния случайных искажений микрорельефа дифракционных решёток на распределение интенсивности в дифракционной картине 48
2.3.1. Математическое описание явления дифракции на отражающей фазовой дифракционной решётке с учётом случайных искажений микрорельефа 49
2.3.2. Оценка влияния случайных искажений микрорельефа на распределение интенсивности в дифракционной картине 58
2.4. Методика контроля формы и параметров микрорельефа на основе прямых измерений 62
2.4.1. Методика определения параметров микрорельефа на основе результатов прямых измерений 62
2.4.2. Оценка параметров реальных микрорельефов защитных голограмм 77
2.4.3. Оценка изменения параметров микрорельефа рабочих Стр. матриц в процессе выпуска тиражей защитных голограмм 81
2.5. Метод контроля качества защитных голограмм на основе косвенных измерений 88
2.5.1. Оценка параметров дифракционных решёток с синусоидальным рельефом на основе косвенных измерений ... 88
2.5.2. Анализ дифракционного распределения на фазовых решётках с синусоидальным профилем на основе векторной теории 93
2.5.3. Оценка глубины микрорельефа дифракционных решёток с несинусоидальным микрорельефом на основе косвенных измерений 96
2.5.4. Анализ влияния случайных искажений микрорельефа на оценку глубины микрорельефа на основе косвенных измерений 101
2.6. Основные положения методики объективного контроля качества защитных голограмм 116
Выводы по главе 2 118
Глава 3. Методика проектирования оптико-электронных приборов контроля качества защитных голограмм и экспериментальное подтверждение основных положений диссертации 122
3.1. Функциональные схемы оптико-электронных приборов для контроля качества защитных голограмм 122
3.1.1. Функциональная схема оптико-электронного прибора для обнаружения локальных дефектов защитных голограмм 122
3.1.2. Функциональная схема оптико-электронного прибора для контроля качества защитных голограмм на основе косвенных измерений 125
3.2. Методика проектирования оптико-электронных приборов для
контроля качества ЗГ и мастер-матриц ЗГ на основе косвенных Стр. измерений 129
3.2.1. Постановка задачи проектирования оптико-электронных приборов контроля качества ЗГ и мастер-матриц ЗГ на основе косвенных измерений 129
3.2.2. Определение конструктивных параметров составных частей ОЭП 131
3.3. Экспериментальные исследования 138
3.3.1. Цель и задачи экспериментальных исследований 138
3.3.2. Методика экспериментальных исследований 139
3.3.3. Описание макетного образца оптико-электронного прибора контроля качества защитных голограмм 139
3.4. Результаты экспериментальных исследований 144
3.4.1. Экспериментальная проверка адекватности математического описания явления дифракции с учётом случайных искажений микрорельефа 144
3.4.2. Оценка погрешности макетного образца ОЭП, предназначенного для контроля качества ЗГ на основе косвенных измерений 151
Выводы по главе 3 155
Общие выводы и заключение 156
Список литературы
