Введение
ГЛАВА 1. Оптические методы измерения геометрических размеров объектов в проходящем свете 13
1.1 Теневые проецирующие методы
1.2 Лазерные сканирующие методы 15
1.3 Дифракционные методы 17
Выводы 24
ГЛАВА 2. Моделирование и расчёт дифракционных полей френеля для одномерных щелях и экранах 26
2.1 Френелевское изображение стандартных объектов в когерентном свете и анализ их структуры 26
2.2 Моделирование и расчёт интерференционных явлений в окрестности геометрических краёв френелевского поля щели 34
2.3 Исследование особенностей формирования френелевского дифракционного поля объекта в частично-когерентном свете 38
2.4 Расчет картины дифракции на полуплоскости при пространственно-неравномерном освещении гармонического типа 44
Выводы 51
ГЛАВА 3. Исследование диапазона и погрешностей френелевского метода измерений геометрических размеров объектов 52
3.1 Оценка погрешности определения положения края полуплоскости при низкочастотном неравномерном освещении 52
3.2 Определение геометрических размеров объектов с высокой точностью в условиях их неравномерного освещения 62
3.3 Изучение интегрирующих свойств ПЗС линейки при регистрации дифракционного изображения 68
3.4 Исследование диапазона измерений и разработка способов его расширения 71
3.5 Оценка общей погрешности метода измерения 76
Выводы 79
ГЛАВА 4. Исследование и расчёт дифракции фраунгофера на одномерных экранах малого размера в расходящемся пучке света. фраунгоферовскии метод измерения 80
4.1 Моделирование и расчёт дифракционного поля Фраунгофера 80
4.2 Определение размеров одномерных экранов по их фраунгоферовским изображениям 84
4.3 Исследование и оценка диапазона измерений фраунгоферовского метода 89
4.4 Экспериментальные результаты 91
Выводы 94
ГЛАВА 5. Разработка, создание и исследование френелевского измерителя диаметров цилиндрических изделий 96
5.1 Принципы построения и расчёт оптической схемы измерителя 96
5.2 Френелевский измеритель размеров: технические характеристики 100
5.3 Результаты экспериментальных исследований измерителя 103
Выводы 106
Заключение 107
Список использованных источников 110
