Введение
ГЛАВА 1. Влияние анизотропии формы полупроводниковых нано- и микроструктур на их оптические свойства (обзор литературы) 10
1.1 Концепция эффективной среды и двулучепреломление формы 10
1.2 Двулучепреломление в слоях пористого кремния 15
1.3 Оптические свойства щелевых кремниевых структур 24
1.4 Влияние свободных носителей заряда на оптические свойства кремниевых нано- и микроструктур 28
1.5 Комбинационное рассеяние света в кремниевых структурах. Эффект Фано 31
1.6 Выводы из обзора литературы и постановка задачи 40
ГЛАВА 2. Теоретический анализ оптических свойств кремниевых микро- и наноструктур 42
2.1 Основные соотношения для расчета оптических характеристик анизотропных слоев мезопористого кремния и щелевых кремниевых структур 42
2.2 Расчет эффективных показателей преломления и коэффициентов поглощения щелевых кремниевых структур 45
2.3 Расчет эффективных показателей преломления и коэффициентов поглощения анизотропных слоев мезопористого кремния 48
ГЛАВА 3. Исследуемые образцы и методика эксперимента 59
3.1 Образцы мезопористого кремния 59
3.2 Образцы щелевых кремниевых структур 61
3.3 Измерение коэффициентов преломления образцов в видимом и ИК диапазонах спектра 62
3.4 Определение коэффициентов поглощения и дихроизма пористого кремния в видимом и ИК диапазоне спектра, расчет концентрации носителей заряда 66
3.5 Измерение спектров комбинационного рассеяния света 69
ГЛАВА 4. Двулучепреломление и оптический дихроизм в слоях пористого кремния 71
4.1 Дисперсия показателей преломления, двулучепреломления и дихроизма в слояк пористого кремния в видимом и среднем ИК диапазоне. Влияние пористости и формы кремниевых нанокристаллов и пор на оптические свойства пористого кремния 71
4.2 Двулучепреломление и дихроизм в слоях пористого кремния в среднем и дальнем инфракрасном диапазоне 78
4.3 Комбинационное рассеяние света в пористом кремнии 85
ГЛАВА 5. Двулучепреломление в щелевых кремниевых структурах 89
5.1 Двулучепреломление в щелевых кремниевых структурах в широком диапазоне 89
5.2 Влияние свободных носителей заряда на оптическое пропускание щелевых кремниевых структур 95
5.3 Комбинационное рассеяние света в щелевых кремниевых структурах 97
Заключение и основные выводы 101
Список литературы 103
