Введение
ГЛАВА I Литературный обзор 27
1.1. Основные сведения и краткая характеристика объекта исследования 28
1.2. Способы синтеза и механизм формирования высокотетраэдрического углерода 31
1.3. Формирование микрокристаллических алмазов в матрице высокотетраэдрического углерода 34
1.4 Аморфный углерод, изготавливаемый методом магнетронного распыления графита
1.5. Оптические свойства аморфного углерода 34
1.6. Спектры фотолюминесценции аморфного углерода 44
1.7. Спектры оптических констант меди и ее окислов 44
1.8. О плазмонной модели края собственного поглощения аморфного углерода 44
1.9. Модели роста высокотетраэдрического углерода. Применеие методов вычислительной физики для исследования механизмов образования высокотетраэдрического аморфного углерода 47
1.10. Оптические свойства аморфного углерода в ИК диапазоне 51
1.11. Сканирующая туннельная микроскопия и спектроскопия аморфного углерода 69
ГЛАВА II Способы выращивания слоев и методики их исследования
2.1. Технологии 69
2.1.1. Метод магнетронного распыления графитовой мишени и сораспыления графитовой и металлической мишеней
2.1.2. Метод осаждения слоев из плазмы 71
2.1.3. Метод осаждения слоев в процессе лазерного испарения графита 72
2.2. Методы диагностики 72
2.2.1. Оптическая диагностика выращенных слоев 72
2.2.1.1. Отражательная эллипсометрия 81
2.2.1.2. Спектрофотометрия 75
2.2.1.3. ИК спектроскопия 95
2.2.2. О связи оптических свойств и структуры аморфного углерода 96
2.2.2.1. Электродинамика возбуждения поверхностных плазмонов в проводящих частицах нанометровых размеров
2.2.2.2. Обобщенный метод 103
2.2.2.3.Анализ спектров фотовозбуждения и фотолюминесценции 106
2.3 Просвечивающая электронная микроскопия и электронная дифракция выбранного участка на изображении
2.4. Рассеяние под малыми углами 106
2.6 Особенности использование методов классической молекулярной динамики для моделирования процессов уплотнения аморфного углерода под воздействием бомбардировки гомоатомами 108
ГЛАВА III Образование нанокластеров алмаза и графита в матрице аморфного углерода 110
3.1. Образование нанокластеров алмаза при магнетронном распылении графита 118
3.2. Образование нанокластеров алмаза при лазерном испарении графита
3.4. Образование высокотетраэдрического аморфного углерода при воздействии на аморфный углерод атомами углерода с энергиями 10-500 эВ 129
ГЛАВА IV Оптические свойства аморфного углерода 133
4.1. Исследование равновесия свободный - связанный водород в аморфном углероде методами ИК-спектроскопии
4.2. Влияние термического воздействия на край оптического поглощения слоев аморфного углерода, выращенных методом магнетронного распыления графита 140
4.3. Оптические свойства аморфного углерода, легированного медью 152
4.4. Плотность состояний в аморфном углероде 162
4.5. Фотолюминесценция аморфного углерода, выращенного лазерным испарением графита 191
ГЛАВА V. Нанокластеры меди в матрице аморфного углерода
5.1. Исследование медных кластеров в среде аморфного углерода методами просвечивающей электронной микроскопии и рентгеноструктурного анализа 191
5.2. Исследование медных кластеров в среде аморфного углерода методами сканирующей зондовой микроскопии и спектроскопии 5.3. Исследование морфологии поверхности пленок аморфного углерода, легированного медью
5.4. Результаты исследования а-С:Н:Си методами рентгеноструктурного анализа, малоуглового рентгеновского рассеяния, рентгеновской спектроскопией EXAFS и XANES 211
5.5. Электрические свойства аморфного углерода, легированного медью
Приложение 227
Заключение 231
Список литературы 235
