Введение
Глава 1. Методы получения измерительной информации средствами оптотехники 12
1.1. Метод триангуляции 12
1.2. Безбазисные измерители длин точность фокусирования оптической системы с двойным клином 13
1.3. Измерители длин с внутренним базисом 19
Глава 2. Анализ схем получения измерительной информации по сопряженным отрезкам 21
2.1. Схема бесконтактного измерения линейных перемещений 21
2.2. Сопряженные точки 25
2.3. Сопряженные отрезки 29
2.4. Сопряженные плоскости 38
2.5. Двухканальная схема измерения 43
2.6. Системы активного типа 47
2.7. Устройства индикации 51
2.7.1. Методы и структура устройств индикации 51
2.7.2. Визуальная индикация 55
2.7.3. Оптико-электронная индикация 59
2.8. Определение диапазона измерения 63
Выводы по главе 2 65
Глава 3. Анализ метрологических характеристик схемы измерения по сопряжённым отрезкам 67
3.1. Тарировак шкалы приборов 67
3.2. Устройство адресного позиционирования 72
3.2.1. Зависимость точности позиционирования манипулятора от расстояния между оптико-электронной головкой и кодовой пластиной 76
3.3. Погрешности измерения 92
3.4. Эксперементальная оценка 102
Глава 4. Измерительные преобразователи 116
4.1. Обзор исследований по теории систем плоских зеркакл 116
4.2. Общие представления 118
4.3. Микрометры с одиночным зеркалом 120
4.4. Микрометры и задатчики перемещений с угловым зеркалом 121
4.5. Микрометры с тремя зеркалами в схеме бесконтактного измерителя длин 123
4.6. Оптимизация схемы с тремя зеркалами 135
4.7. Микрометры и задатчики с четырьмя зеркалами 136
Выводы по главе 4 141
Глава 5. Синтез схем бесконтактных измерений 143
5.1. Метод «доказательной аргументации» 143
5.2. Классификация париметров системы 149
5.3. Алгоритм выбора системы измерений 152
Выводы по главе 5 155
Основные результаты работы 156
Список литературы
