Введение
ГЛАВА 1. Обзор методов и средств контроля перемещений объектов и обоснование цели и задач диссертации 11
1.1. Постановка задачи контроля погрешностей перемещений объектов 11
1.2. Методы и аппаратура контроля перемещений объектов
1.2.1. Контроль погрешностей перемещений рабочих органов измерительных машин 14
1.2.2. Контроль линейных перемещений в электронно-лучевых литографах 17
1.2.3. Контроль перемещений и взаимного положения механизмов металлорежущих станков 19
1.2.4. Оптико-электронные приборы для контроля линейных перемещений 32
1.3. Выводы по Главе 1 38
ГЛАВА 2. Функциональные схемы и принципы действия оптико-электронных приборов для бесконтактного контроля погрешностей линейных перемещений объектов ... 40
2.1. Функциональная схема и принцип действия базового варианта ОЭП
для контроля погрешностей линейных перемещений 40
2.2. Разновидности функциональных схем оптико-электронных приборов для контроля линейных перемещений 45
2.3. Схемы контроля линейных перемещений на механообрабатывающих станках 49
2.3.1. Системы координат станков сЧПУ з
Стр.
2.3.2. Схема организации активного контроля на токарном станке 53
2.3.3. Схема организации активного контроля на фрезерном станке 57
2.3.4. Схемы контроля перемещений рабочих органов металлообрабатывающих станков 61
Выводы по Главе 2 64
ГЛАВА 3. Математическая модель и целевые функции проектирования оптико-электронных приборов для измерения перемещений объектов 65
3.1. Общий подход к проектированию ОЭП для контроля линейных перемещений объектов 65
3.2. Разработка математической модели ОЭП для контроля перемещений
3.2.1. Структурная схема ОЭП для контроля перемещений как объекта проектирования 69
3.2.2. Анализ преобразования сигнала в тракте оптико-электронного измерительного прибора 74
3.2.3. Анализ преобразования сигнала в базовом варианте ОЭП для контроля перемещений 77
3.3. Анализ алгоритмов определения координат изображения в ОЭП
контроля перемещений объектов 85
3.3.1. Алгоритм оценки положения объекта по максимуму функционала отношения правдоподобия 86
3.3.2. Оценка эффективности алгоритма оценки координат по методу «центра масс» 90
3.4. Методика проектирования ОЭП контроля линейных перемещений 98
Выводы по Главе 3 103 Стр.
ГЛАВА 4. Экспериментальное исследование 104
4.1. Методика проведения экспериментальных исследований 104
4.2. Описание экспериментальной установки 105
4.3. Экспериментальные исследования 109
4.4. Обработка результатов экспериментальных исследований 111
Выводы по Главе 4 115
Основные результаты диссертации 116
Список литературы
