Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью
Юрьева Алёна Викторовна. Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация ... кандидата Технических наук: 01.04.07 / Юрьева Алёна Викторовна;[Место защиты: ФГАОУ ВО Национальный исследовательский Томский политехнический университет], 2017.- 118 с.