Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде
Линник, Степан Андреевич. Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.07 / Линник Степан Андреевич; [Место защиты: Нац. исслед. Том. политехн. ун-т].- Томск, 2013.- 105 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/1731