Особенности измерений линейных размеров субмикронных структур методом растровой электронной микроскопии
Заблоцкий Алексей Васильевич. Особенности измерений линейных размеров субмикронных структур методом растровой электронной микроскопии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 / Заблоцкий Алексей Васильевич; [Место защиты: Моск. физ.-техн. ин-т (гос. ун-т)].- Долгопрудный, 2009.- 129 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-1/255
