Введение
ГЛАВА 1. Обзор литературы 8
1.1 Проблемы и перспективы использования кремния в электронных приборах 8
1.2 Закономерности формирования и электронно-энергетическое строение нанокластеров и нанокристаллов кремния 13
1.3 Теоретические основы методов исследования электронной структуры твёрдых тел с помощью рентгеновского излучения 27
1.3.1 Метод ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии 27
1.3.2 Спектроскопия ближней тонкой структуры рентгеновского поглощения 33
1.3.3 Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия 39
1.4 Выводы и формулирование задач исследований 44
ГЛАВА 2. Методика исследования образцов 46
2.1 Методика получения нанопорошков кремния 46
2.2 Получение плёнок Si02, содержащих нанокристаллы кремния 46
2.3 Методы исследования образцов 47
ГЛАВА 3. Фазовый состав и оптические свойства нанопорошков кремния, полученных распылением мощным электронным пучком 59
ГЛАВА 4. Исследование электронно-энергетического строения нанокластеров Si в Si02, полученных термическим отжигом субоксида кремния 74
Основные результаты и выводы 100
Литература 102
