Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления
Кралькина, Елена Александровна. Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.08 / Кралькина Елена Александровна; [Место защиты: Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова. Физ. фак.].- Москва, 2008.- 301 с.: ил. РГБ ОД, 71 09-1/214