Введение
Глава I. Обзор литературы 12
1.1 Гигантское магнитосопротивление 12
1.1.1. Обменно-связанные мультислои 17
1.1.2. Нанокристаллические гранулированные системы 23
1.1.3. Спин-вентили 25
1.2. Магнитная анизотропия 26
1.2.1. Магнитная кристаллографическая анизотропия 26
1.2.2. Наведенная магнитная анизотропия 26
1.2.3. Случайная магнитная анизотропии 28
1.2.4. Магнитная анизотропия многослойных пленок 32
1.3. Термическая обработка 34
Глава II. Методика эксперимента 47
2.1. Метод магнетронного распыления 47
2.2. Методы исследования структуры пленок 52
2.2.1. Метод просвечивающей электронной микроскопии 52
2.2.2. Атомно-силовая микроскопия 56
2.2.3. Спектральный Фурье- анализ 60
2.3. Магнитометрические методы 60
2.3.1. Индукционный метод 61
2.3.2. ФМР 62
2.4. Методика измерения магнитосопротивления 63
2.5. Термомагнитная обработка 65
Глава III. Структура многослойных пленок 67
3.1. Кристаллическая структура многослойных пленок 67
3.2. Спектральный Фурье-анализ кристаллической структуры 69
3.3. Шероховатости поверхности многослойных пленок 71
3.3.1. Шероховатости межфазных границ многослойных пленок 71
3.3.2. Влияние толщины магнитных и немагнитных слоев на шероховатости поверхности пленок Ру/Со/Си/Со 73
3.3.3. Влияние отжига на шероховатости поверхности пленок Со/Си/Со 74
3.3.4. Влияние термомагнитного отжига на морфологию поверхности пленок Со/Си/Со 76
3.4. Выводы 78
Глава IV. Поведение магнитных параметров многослойных пленок Со/Си/Со при термомагнитной обработке 80
4.1. Термомагнитная обработка однослойных пленок Со 81
4.2. Магнитная анизотропия многослойных пленок Со/Си/Со с разным типом косвенной обменной связи при термомагнитной обработке 85
4.2.1. Магнитная анизотропия пленок Со/Си/Со с ФМ связью при термомагнитной обработке 85
4.2.2 Магнитная анизотропия пленок Со/Си/Со с АФМ связью при термомагнитной обработке 87
4.3 Магнитные и магниторезистивиые свойства пленок Со/Си/Со при термомагнитной обработке 91
4.3.1. Метод подгонки 91
4.3.2. Магнитные и магниторезистивиые свойства пленок Со/Си/Со с ФМ связью при термомагнитной обработке 92
4.3.3. Магнитные и магниторезистивиые свойства пленок Со/Си/Со с АФМ связью 94
4.3.4. Параметры доменной структуры пленок Со/Си/Со 95
4.3.5. Магнитные и магниторезистивиые свойства пленок Со/Си/Со с АФМ связью при термомагнитной обработке 101
4.4. Выводы 107
Глава V. Магнитные и магниторезистивные свойства многослойных пленок Ру/Со/Си/Со 110
5.1. Магнитосопротивление пленок Ру/Со/Си/Со 110
5.1.1. Магниторезистивные свойства пленок Ру/Со/Си/Со в зависимости от толщины немагнитной прослойки ПО
5.1.2. Магниторезистивные свойства пленок Py/Co/Cu/Со в зависимости от толщины ферромагнитных слоев 114
5.2. Магнитные свойства пленок Py/Co/Cu/Со 116
5.2.1. Магнитная анизотропия пленок Py/Co/Cu/Со 116
5.2.2. Коэрцитивная сила пленок Py/Co/Cu/Со 118
5.3. Термомагнитная обработка пленок Py/Co/Cu/Со 121
5.4. Выводы 127
Заключение 128
Список литературы 131
