Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор 10
1. Металлооксидные газочувствительные сенсоры 11
1.1. Методы получения металлооксидных пленок 15
2. Газовые сенсоры на основе SnO? и ZnO 17
2.1. Свойства БпОг как полупроводника 17
2.2. Применение Sn02 в полупроводниковых газовых сенсорах 17
2.3. ZnO и сенсоры на его основе 20
3. Способы повышения чувствительности сенсоров 23
3.1. Основные характеристики газовых сенсоров 23
3.2. Факторы, влияющие на газочувствительные свойства
металлооксидных сенсоров 24
3.2.1. Влияние толщины пленки, размера зерна на газочувствительные характеристики сенсора 25
3.2.2. Зависимость чувствительности сенсора от температуры 26
3.2.3. Влияние легирующих добавок на газочувствительные свойства ZnO - и Sn02 - сенсоров 27
3.2.4 Газочувствительные свойства систем на основе нескольких оксидов металлов 34
4. Применение металлопорфиринов в качестве модификаторов чувствительного слоя сенсоров 35
4.1. Физико-химические свойства порфиринов 36
4.2. Комплексообразование порфиринов с металлами 37
4.3. Комплексообразование металлопорфиринов с молекулами
легколетучих органических веществ 39
4.4. Применение МП в газочувствительных сенсорных системах 40
4.5. ZnO и Sn02-сенсоры, модифицированные металлопорфиринами...42
ГЛАВА 2. Методическая часть 45
1. Исходные материалы. 45
1.1. ZnO — сенсоры 45
1.2. Sn02-сенсоры 46
1.3. Используемые модификаторы чувствительного слоя сенсора 47
1.4. Методы модификации сенсоров на основе ZnO и Sn02 безметальными порфиринами и их металлокомплексами 48
2. Методика анализа сенсорного отклика полупроводниковых сенсоров на основе ZnO 52
3. Измерение величины сенсорного отклика полупроводниковых сенсоров на основе SnO? 54
4. Анализируемые величины 56
5. Исследования структуры напыленного на неорганические подложки ТФП с использованием метода атомно-силовой микроскопии (ACM) ...56
ГЛАВА 3. Влияние модификации zno сенсоров безметальными порфиринами на характер сенсорного отклика на летучие органические вещества 58
1. Сенсорный отклик модифицированного ZnO - сенсора 58
2. Влияние модификации чувствительного слоя ZnO - сенсора
тетрафенилпорфирином на сенсорный отклик 60
3. Сенсорный отклик при модифицировании чувствительного слоя ZnO -сенсора этиопорфирином 66
4. Морфология поверхности сенсоров на основе ZnO, модифицированных ТФП, по данным атомно-силовой микроскопии 70
5. Механизм формирования сенсорного отклика ZnO-сенсора, модифицированного безметальными порфиринами 76
5.1. Механизм формирования отклика при модифицировании поверхности сенсора ТФП 76
5.2. Особенности влияния ЭП на параметры сенсорного отклика 81
ГЛАВА 4. Влияние металлопорфиринов (цинкового и палладиевого комплексов тетрафенилпорфиринов и медного комплекса октаэтилпорфирина) на характер сенсорного отклика zno - сенсора на летучие органические вещества 85
ГЛАВА 5. Влияние модификации Sn02 сенсоров тетрафинилпорфирином на характер сенсорного отклика на летучие органические вещества 88
1. Сенсоры на основе SnO?c аддитивом Sb в вакуумных условиях 88
2. Исследование газовой чувствительности SnO? - сенсоров с аддитивами (1п-SbVPt, In, In - Sb, в воздушной среде при атмосферном давлении 93
3. Морфология поверхности сенсоров на основе SnO?, модифицированных ТФП, по данным атомно-силовой микроскопии 96
Выводы 100
Литература 102
