Введение
Глава 1. Литературный обзор 11
1.1.Физические процессы на межзренных границах поликристаллического полупроводника 12
1.2. Примесные тепло- и термовольтаические эффекты в полупроводниках 20
1.3. Преобразователи тепловой энергии на основе полупроводниковых структур 25
1.4. Постановка задачи исследования 29
Глава 2. Методика эксперимента 31
2.1. Методы и установки для измерения основных электрофизических параметров кремниевых образцов и структур .32
2.2. Методы и установки для исследования фото- и термоэлектрических характеристик .38
2.3.Установка для измерения глубины залегания p-n-перехода 42
2.4.Установка для создания просветляющих покрытий из оксида кремния 46
Глава 3. Исследование структуры вторичного литого по ликристаллического кремния (ВЛПК) и влияния температуры и локальной освещенности на его электрофизические свойства 50
3.1. Микроструктура и морфология межзренных границ на ВЛПК 50
3.2. Структура и электрические свойства двух соприкасающихся зерен поликристаллического кремния .58
3.3. Температурные зависимости основных электрофизических параметров поликристаллического кремния различной модификации 63
3.3.1. Температурная зависимость удельного сопротивления .63
3.3.2. Температурная зависимость подвижности носителей заряда 66
3.3.3. Температурная зависимость концентрации носителей заряда. 71
3.4. Влияние локальной освещенности поверхности на электрофизические свойства ВЛПК 75
3.5. Выводы по главе 3 80
Глава 4. Тепловольтаические эффекты в моно- и поликристаллических кремниевых n+-p-структурах 83
4.1. Влияние температуры на некоторые свойства n+-p-структур на основе ВЛПК 84
4.2. Поведение темнового тока n+-p-структуры из монокристаллического кремния, легированной щелочными металлами и облученной элек-тронами при повышенных температурах 87
4.3. Преобразователи тепловой энергии на основе ВЛПК 94
4.4. Исследование свойств компонентов синтеза технического кремния для производства преобразователей солнечной и тепловой энергии 101
4.5. Выводы по главе 4. 110
Общие выводы 113
Список литературы 118
Список опубликованных работ 132
