Введение
Глава 1 Обзор литературы 13
1.1. Классификация нанокомпозитных материалов 13
1.2. Наногранулированные тонкие пленки 17
1.2.1. Наногранулированные тонкие пленки на основе органических матриц 17
1.2.2. Наногранулированные тонкие пленки на основе металлических матриц 19
1.2.3. Наногранулированные тонкие пленки на основе оксидных матриц 25
1.3. Методы получения тонкопленочных наногранулированных композитов на основе оксидных матриц 37
1.3.1. Физические методы получения наногранулированных пленок 37
1.3.2. Химические методы получения наногранулированных пленок 44
Глава 2. Методы получения и исследования образцов 51
2.1. Методы получения образцов 51
2.2. Методы исследования образцов 58
2.2.1. Просвечивающая электронная микроскопия 58
2.2.2. Атомно-силовая микроскопия 69
2.2.3. Рентгеноструктурный анализ 70
2.2.4. Магнитометрические методы 75
2.2.5. Электрические измерения 77
Глава 3. Структура, магнитные и электрические свойства наногранулированных Co-ZrO2 тонких пленок 80
3.1. Изготовление наногранулированных Co-ZrO2 тонких пленок 80
3.2. Структурные и магнитные исследования 84
3.3. Выводы к главе 3 94
Глава 4. Структура, магнитные и электрические свойства наногранулированных Co-Al2O3 тонких пленок 95
4.1. Получение наногранулированных Co-Al2O3 тонких пленок 95
4.2. Структурные и магнитные характеристики наногранулированных Co Al2O3 тонких пленок 103
4.3. Выводы к главе 4 107
Глава 5. Структурные и магнитные особенности наногранулированных Co-Al2O3 пленок, изготовленных из двухслойных и многослойных Co3O4/Al прекурсоров, полученных магнетронным распылением 109
5.1 Технологические особенности изготовления пленок 109
5.2. Однослойные наногранулированные Co-Al2O3 пленки: структурные и магнитные характеристики 111
5.3. Структура и магнитные характеристики многослойных наногранулированных Co-Al2O3 пленок 121
5.4. Выводы к главе 5 125
Основные выводы 127
Список литературы 128
