Введение
Глава 1. Анализ трехслойного плапарного оптического волновода в структурах с потерями 21
1.1. Структура слоев и комплексное дисперсионное уравнение планарной трехслойной структуры на поглощающей подложке 24
1.2. Условия для определения границ диапазонов различного поведения комплексных нормализованных постоянных распространения, связанных с наличием точек отсечки 26
1.3. Аналитические выражения для толщин пленки и нормализованных постоянных распространения волн в точках отсечки и их графическое представление 28
1.4. Вид дисперсионных кривых для различных диапазонов изменения показателя преломления пленки 32
1.5. Краткие выводы 47
Глава 2. Иитегралыго-оптические фотоприемпые структуры 50
2.1. Принципы (схемы) построения фотодетекторов, сопряженных с пленарным волноводом 50
2.2. Фотодетекторы с резким и плавным переходами буферного слоя к области фотодетектирования на подложках из кремния. Оптико-физические параметры и характеристики образцов 59
2.3. Улучшение характеристик системы волновод-фотодетектор на подложках из кремния 90
2.4. Основные результаты главы 2 92
Глава 3. Исследование интегрально-оптического фотодетектора на кремниевой подложке 94
3.1. Экспериментальная многофункциональная установка для измерения оптико-физических параметров и характеристик планарных волноводных структур 94
3.2. Исследование спектральных свойств волновода с помощью встроенного в кремниевую подложку фотодетектора 100
3.3. Исследование спектральных свойств сопряженного с волноводом фотодетектора 111
3.4. Основные результаты главы 3 118
Заключение 120
Литература 123
