Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом
Шулунов Вячеслав Рубинович. Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.14.- Улан-Удэ, 2002.- 127 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/1665-5
