Плазменные эмиссионные системы на базе разряда низкого давления для нанесения покрытий из мелкодисперсных материалов
Гребнев Олег Игоревич. Плазменные эмиссионные системы на базе разряда низкого давления для нанесения покрытий из мелкодисперсных материалов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02 Санкт-Петербург, 2007 179 с., Библиогр.: с. 156-164 РГБ ОД, 61:07-5/4538