Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств
Амиров, Ильдар Искандерович. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Амиров Ильдар Искандерович; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2010.- 300 с.: ил. РГБ ОД, 71 11-1/167