Введение
ГЛАВА I. Обзор литературы. Методики плазмохимического осаждения аллотропных форм углерода.
1.1. Введение. Стр.10
1.2. Осаждение углеродных пленок из плазмы СВЧ разряда. Стр.11
1.3. Осаждение углеродных пленок из плазмы ВЧ разряда . Стр.17
1.4. Осаждение углеродных пленок из плазмы разряда постоянного тока. Стр.19
1.5. Осаждение углеродных пленок методом горячей нити. Стр.21
ГЛАВА II. Разработка методики создания центров нуклеации («посева») с использованием комбинированной ВЧ/СВЧ плазмы .
2.1. Введение. Стр.24
2.2. Экспериментальная установка . Стр.26
2.3. Исследование морфологии «посева». Стр.29
ГЛАВА III. Плазмохимический синтез нанокристаллического графита в разряде постоянного тока .
3.1. Введение. Стр.33
3.2. Экспериментальная установка. Стр.36
3.3. Исследование механизмов роста нанокристаллического графита на поверхности кремния . Стр.39
3.3.1.Исследование начальной стадии нуклеации НКГ пленки. Стр.41
3.3.2.Исследование механизмов зарождения микроребер. Стр.43
3.3.3.Исследование механизмов роста нитевидных структур в виде нанотрубок и нанолент. Стр.48
ГЛАВА IV. Исследование свойств пленок нанокристаллического графита .
4.1. Введение. Стр.55
4.2. Исследование сильноточных автоэмиссионных свойств нанокристаллического графита. Стр.55
4.3. Суперконденсаторы на основе нанокристаллического графита. Стр.64
ГЛАВА V. Плазмохимический синтез поликристаллического алмаза в СВЧ разряде .
5.1. Введение. Стр.74
5.2. Экспериментальная установка. Стр.75
5.3. Система регистрации оптических эмиссионных спектров СВЧ плазмы . Стр.79
5.4. Исследование поликристаллических алмазных пленок, легированных бором, методами спектроскопии рамановского рассеяния и спектроскопии оптического поглощения. Стр.80
5.5 Исследование корреляции между оптическими эмиссионными спектрами СВЧ плазмы и структурными свойствами поликристаллических алмазных пленок, легированных бором. Стр.88
Выводы. Стр.94
Благодарности. Стр.96
Литература. Стр.97
