Введение
Глава 1. Литературный обзор 11
1.1. Разбавленные магнитные полупроводники 11
1.2. Материалы на основе карбонитрида кремния и близких по составу соединений, содержащие атомы переходных металлов 14
1.2.1. Пленки карбонитрида кремния SiCxNy 15
1.2.1.1. Физические методы осаждения пленок карбонитрида кремния 16
1.2.1.2. Химические методы осаждения пленок карбонитрида кремния 17
1.2.1.3. Свойства пленок карбонитрида кремния 20
1.2.2. Магнитные материалы 24
1.2.2.1. Синтез и структура керамик состава SiCxNy:Fe 25
1.2.2.2. Синтез и структура керамик и других материалов близкого состава 26
1.2.2.3. Магнитные свойства керамик 29
1.2.3. Материалы на основе карбонитрида, нитрида и карбида кремния, легированные другими металлами 30
1.3. Железо на поверхности кремния и соединения железа с кремнием 33
1.3.1. Силициды железа 33
1.3.2. Получение пленок силицидов железа 35
1.4. Заключение 40
Глава 2. Экспериментальная часть 42
2.1. Осаждение пленок SiCxNy:Fe и изучение процесса термического разложения ферроцена 42
2.1.1. Схема установки для осаждения 42
2.1.2. Исходные вещества 43
2.1.3. Методика процесса осаждения 45
2.1.4. Подготовка подложек к осаждению 47
2.2. Характеризация полученных образцов 48
2.2.1. Исследование элементного состава пленок методом ЭДС 48
2.2.2. Исследование характера химических связей методами ИК-, КРС- и РФЭ-спектроскопии 48
2.2.3. Исследование фазового состава пленок методом РФА 49
2.2.4. Исследование ориентации пленок методом полевых фигур 50
2.2.5. Исследование морфологии и структуры пленок методами микроскопии 50
2.2.6. Изучение электрофизических свойств пленок 50
2.2.7. Изучение магнитных свойств пленок 50
Глава 3. Результаты и обсуждение 52
3.1. Изучение процесса термического разложения ферроцена и характеризация продуктов 52
3.1.1. Изучение зависимости фазового состава пленок, осажденных из паров ферроцена, от материала используемой подложки 53
3.1.2. Изучение зависимости структуры продуктов разложения ферроцена на кремнии (100) от условий осаждения 59
3.2. Синтез и характеризация состава и структуры пленок SiCxNy:Fe 68
3.2.1. Осаждение пленок SiCxNy:Fe из газовых смесей ферроцена, кремнийорганического соединения и гелия 68
3.2.1.1. Состав и структура пленок, осажденных из газовой смеси ферроцена, ГМДС и гелия 69
3.2.1.2. Состав и структура пленок, осажденных из газовой смеси ферроцена, ТДЭАС и гелия 77
3.2.1.3. Функциональные свойства пленок SiCxNy:Fe, осажденных из газовых смесей ферроцена, кремнийорганического соединения и гелия 83
3.2.2. Осаждение пленок SiCxNy:Fe из газовых смесей ферроцена, кремнийорганического соединения и водорода 87
3.2.2.1. Состав и структура пленок, осажденных из газовой смеси ферроцена, ГМДС и водорода 87
3.2.2.2. Состав и структура пленок, осажденных из газовой смеси ферроцена, ТДЭАС и водорода 91
3.2.2.3. Функциональные свойства пленок SiCxNy:Fe, осажденных из газовых смесей ферроцена, кремнийорганического соединения и водорода 94
3.2.3. Осаждение пленок SiCxNy:Fe из газовых смесей ферроцена, кремнийорганического соединения и аммиака 96
3.2.3.1. Состав и структура пленок, осажденных из газовой смеси ферроцена, ГМДС и аммиака 96
3.2.3.2. Состав и структура пленок, осажденных из газовой смеси ферроцена, ТДЭАС и аммиака 99
3.2.3.3. Функциональные свойства пленок SiCxNy:Fe, осажденных из газовых смесей ферроцена, кремнийорганического соединения и аммиака 101
Заключение 103
Основные результаты и выводы 105
Благодарности 107
Список литературы 108
