Введение
Глава 1. Применение сегнетоэлектрических плёнок в ВЧ и СВЧ диапазоне (обзор литературы) 12
1.1 СВЧ свойства сегнетоэлектрических плёнок (Ва, Sr)Ti03 13
1.2 Технологии получения сегнетоэлектрических плёнок 19
1.3 Перестраиваемые СВЧ элементы на основе СЭ плёнок 20
1.4 Методики измерения СВЧ свойств СЭ тонких плёнок 23
1.5 Электрофизические свойства перестраиваемых СВЧ элементов на основе СЭ плёнки 24
1.5 Электрофизические свойства перестраиваемых СВЧ элементов на основе СЭ плёнки 25
1.6 СВЧ устройства на основе сегнетоэлектрических плёнок 28
Глава 2. Методики и результаты измерения СВЧ свойств сегнетоэлектрических плёнок 32
2.1 Методики измерения СВЧ свойств сегнетоэлектрических плёнок 32
2.1.1 Безэлектродные измерения параметров СЭ плёнок 33
2.1.2 Измерения на основе щелевого резонатора с СЭ плёнкой в волноводе... 47
2.2 Результаты измерений СВЧ свойств сегнетоэлектрических плёнок 54
2.2.1 Выбор состава для применения в диапазоне СВЧ 54
2.2.2 Исследование зависимости свойств от толщины плёнки 55
2.2.2 Исследование зависимости свойств от толщины плёнки 56
2.2.3 Исследования свойств керамических плёнок BSTO методом частично заполненного волноводного резонатора 57
2.2.4. Исследования свойств СЭ плёнок BaojSrojTiCb в диапазоне около 60 ГГц. 57
Глава 3. Сегнетоэлектрический МДМ конденсатор для СВЧ и ВЧ применений 60
3.1. Технология создания СЭ МДМ конденсаторов 60
3.2. Конструкция МДМ-конденсатора на основе СЭ плёнки 66
3.3. Свойства СВЧ МДМ конденсатора на основе СЭ плёнки 73
Глава 4. Релаксация ёмкости СЭ конденсатора при воздействии импульсных электрических полей 83
4.1 Методика измерений 84
4.2 Экспериментальные результаты 86
4.3 Анализ экспериментальных результатов 94
Глава 5. СВЧ устройства на основе сегнетоэлектрических плёнок 99
5.1 Параметр качества перестраиваемого элемента, включённого в СВЧ резонатор, и фильтра на их основе 99
5.1.1 Характеристики фильтра на основе СЭ перестраиваемых элементов... 103
5.2 Параметр качества ФВ на основе перестраиваемого фильтра 104
5.3 Параметр качества ФВ на основе перестраиваемой линии передачи 108
5.3.1 Оценка предельного параметра качества СЭ ВЩЛ фазовращателя на основе измерения ВЩЛ резонатора 111
5.4 Фазовращатель на основе СЭ волноводно-щелевой линии передачи 113
5.4.1 Предварительная оценка параметра качества СЭ ВЩЛ фазовращателя 113
5.4.2 Конструкция и результаты измерения СЭ ВЩЛ фазовращателя 114
Заключение 120
Приложение 122
Список литературы
