Введение
ГЛАВА 1. Анализ состояния вопроса. цель и задачи исследования 11
1.1 Классификация покрытий, наносимых на поверхность стекла 11
1.1.1 Классификация тонкопленочных покрытий по назначению 13
1.1.2 Классификация тонкопленочных покрытий по составу 15
1.1.3 Методы нанесения покрытий 18
1.2 Вакуумно-дуговые солнцезащитные покрытия 23
1.2.1 Особенности процесса вакуумно-дугового напыления 23
1.2.2 Технологический процесс и оборудование вакуумно-дугового напыления 27
1.2.3 Физико-механические и эксплуатационные свойства вакуумно-дуговых покрытий и методы их оценки. 38
1.3 Методы моделирования и оптимизации процесса нанесения покрытий . 41
1.4 Актуальность проблемы создания покрытий с заданными свойствами. Цель и задачи исследования 48
Глава 2. Информационное и математическое обеспече ние процесса нанесения вакуумно-дуговых покрытий 51
2.1 Механизм процессов напыления и формирования покрытий 51
2.2 Теоретические основы моделирования и оптимизации процесса нанесения покрытий 60
2.2.1 Моделирование процессов методами планирования эксперимента . 60
2.2.1.1 Схема построения модели методами планирования эксперимента . 60
2.2.1.2 Предпланирование эксперимента 62
2.2.1.3 Определение оптимального плана проведения эксперимента . 66
2.2.1.4 Обработка результатов эксперимента 70
2.2.2 Оптимизация процессов нанесения покрытий 75
2.3 Выводы по второй главе 78
ГЛАВА 3. Экспериментальные исследования эксплуатационных и физико-механических свойств покрытий 80
3.1 Оборудование и условия проведения экспериментов, методы исследования 80
3.2 Влияние технологических параметров напыления на износостойкость и микротвердость вакуумно-дуговых покрытий на стекле 86
3.3 Влияние технологических параметров напыления на кислотостойкость вакуумно-дуговых покрытий 95
3.4 Исследование топографии поверхности вакуумно-дуговых покрытий 98
3.5 Влияние режима напыления на оптические свойства стекол с тонкоп леночным покрытием. 105
3.6 Выводы по третьей главе ПО
ГЛАВА 4. Разработка алгоритмического и программного обеспечения подсистемы моделирования и оптимизации режимов нанесения покрытий 113
4.1 Алгоритм построения регрессионной модели для комплексного показателя качества покрытия 113
4.2 Алгоритм оптимизации режимов нанесения вакуумно-дуговых покрытий 118
4.3 Подсистема моделирования и оптимизации режимов нанесения покры тий "Plasma-l" 124
4.3.1 Структура, задачи и схема функционирования подсистемы "Plasma-l" 124
4.3.2 Назначение и области использования подсистемы "Plasma-l" 128
4.3.3 Структура базы данных подсистемы "Plasma-l" 131
4.3.4 Алгоритм использования подсистемы "Plasma-l" 135
4.4 Выводы по четвертой главе 143
ГЛАВА 5. Результаты эксплуатации подсистемы АСТПП "PLASMA-1" 145
5.1 Тестирование подсистемы "Plasma-1" 145
5.2 Исследование закономерностей формирования эксплуатационных характеристик покрытий 148
5.3 Синтез технологических режимов нанесения покрытий с заданными свойствами с использованием подсистемы "Plasma-1" 157
5.4 Оценка эффективности подсистемы "Plasma-1". Рекомендации по дальнейшему использованию и развитию 161
5.5 Выводы по пятой главе 164
Заключение 166
