Введение
ГЛАВА 1. Обзор литературы и постановка задачи исследования 10
1.1 Свойства и применение многокомпонентных твердых растворов на основе АШВv 10
1.2 Гетеропереходы П-го типа 20
1.3 Фазовые равновесия в многокомпонентных гетеросистемах на основе AmBv 23
1.4 Термодинамическая устойчивость и ограничения многокомпонентных твердых растворов 30
1.5 Распределение компонентов в твердых растворах, формируемых методом ГЖК 37
Выводы к главе1 42
ГЛАВА 2. Технология и аспекты процессов получения и исследования многокомпонентных твердых растворов 44
2.1 Аппаратурно-методическое оформление ГЖК многокомпонентных твердых растворов на основе АШВУ 44
2.2 Аппаратурно-методическое оформление ЖФЭ тонких многослойных ПТР на основе соединений АШВУ 53
2.3 Поверхностно-чувствительные методы, применяемые для
анализа пятикомпонентных гетероструктур на основе AmBv 58
2.3.1 Метод оже-спектроскопии (ЭОС) 58
2.3.2 Метод рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) 66
2.3.3 Метод масс-спектрометрии вторичных нейтральных частиц 74
ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 2 82
ГЛАВА 3. Модель EFLCP в описании интерфазных взаимодействий ПТР, и моделирование зонных диаграмм гетероструктур II-го типа 84
3.1 Диаграммы плавкости систем на основе AmBv 84
3.2. Термодинамическая модель расчета фазовых равновесий ПТР 89
3.2.1 Термодинамическая модель EFLCP для системы AxBi.xCyDzEi.y.z 90
3.2.2 Термодинамическая модель EFLCP для системы AxByCi.x.yDzEi.z 97
3.3 Расчет энергетических диаграмм гетероструктур И-го типа 104
3.3.1 Определение параметров ПТР 104
3.3.2 Модель расчета энергетических диаграмм исследуемых гетероструктур И-го типа 109
ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 3 119
ГЛАВА 4. Исследование полученных гетероструктур на основе ПТР АШВУ, изопериодных подложкам GaSb и InAs 120
4.1 Обоснование выбора гетероструктур на основе пятикомпонентных твердых растворов 120
4.2 Особенности получения пятикомпонентных твердых растворов на основе AIUBV 123
4.3 Гетероструктуры на основе ПТР АШВУ, изопериодные подложкам GaSb и InAs 129
4.3.1 Однослойные гетероструктуры на основе ПТР GalnPAsSb, изопериодные подложкам GaSb и InAs 132
4.3.2 Однослойные гетероструктуры на основе ПТР AlGalnAsSb, изопериодные подложкам GaSb 148
4.3.3 Многослойные гетероструктуры на основе ПТР GalnPAsSb и AlGalnAsSb, изопериодные подложкам GaSb 151
Выводы к главе 4 157
Основные выводы работы 158
Список литературы
