Введение
Глава 1. Тонкие пленки нитрида алюминия: технология свойства, применение . 9
1.1. Основные свойства пленок нитрида алюминия 9
1.2. Фотоприемные устройства на основе тонких пленок нитрида алюминия и особенности их формирования 13
1.3. Методы получения тонких пленок нитрида алюминия 18
Выводы и постановка задачи 28
Глава 2. Технология получения фоточувствительных структур на основе тонких пленок нитрида алюминия 30
2.1. Конструктивные особенности фотоприемных структур с объемным зарядом на основе пленок нитрида алюминия 30
2.2. Технология формирования контактных слоев 34
2.3. Технология получения пленок нитрида алюминия 45
Глава 3. Исследование свойств пленок нитрида алюминия и фотоприемных структур на их основе 51
3.1. Методы исследования тонких пленок нитрида титана, нитрида алюминия и фотоприемных структур на их основе . 51
3.2. Исследование структурных свойств пленок нитрида алюминия 65
3.3. Исследование электрофизических и фотоэлектрических свойств фотоприемных структур 82
3.4. Оптимизация технологии нижнего электрода многослойных фотоприемных структур 92
Глава 4. Модельные представления о механизмах фотоэлектрических явлений фотоприемных структур на основе пленок нитрида алюминия 98
Заключение
Список литературы 113
