Введение
Глава 1 Обзор литературных данных по методам получения, исследованию структурных, оптических и магнитных свойств системы Fe-Si 13
1.1 Формирование ферромагнитного силицида Fe3Si 21
1.2 Формирование полупроводникового силицида -FeSi2 24
1.3 Выводы к главе и постановка задачи 29
Глава 2 Методика эксперимента и экспериментальное оборудование 31
2.1 Дифракция отраженных быстрых электронов 31
2.2 Лазерная отражательная эллипсометрия 35
2.3 Электронная оже-спектроскопия и спектроскопия характеристических потерь энергии электронов 37
2.4 Просвечивающая электронная микроскопия 41
2.5 Ex situ магнитные исследования гистерезиса 44
2.6 Исследование магнитных свойств методом ферромагнитного резонанса 46
2.7 Рентгеноструктурный анализ 48
2.8 Рентгеноспектральный флуоресцентный анализ 53
2.9 Технология получения исследуемых наноструктур 55
2.9.1 Напылительная система 60
2.9.2 Технология приготовления подложек 62
Глава 3 Формирование структур Fe на Si(001) 21 при твердофазной эпитаксии и реактивной эпитаксии 66
3.1 Структуры Fe, полученные методом твердофазной эпитаксии 66
3.2 Структуры Fe, полученные методом реактивной эпитаксии 69
3.3 Исследование структур Fe/Si(001) методами ЭОС и СХПЭЭ 72
3.4 Выводы к главе 76
Глава 4 Исследование магнитной анизотропии пленок Fe на Si(001) и Si(111) 78
4.1 Магнитная анизотропия структуры Fe/Si(001) 21 80
4.2 Магнитная анизотропия структуры Fe/SiO2/Si(001) 83
4.3 Магнитная анизотропия структуры Fe/Si(111) 77 86
4.4 Магнитная анизотропия структуры Fe/SiO2/Si(111) 89
4.5 Обсуждение магнитной анизотропии пленок Fe на SiO2/Si(001) и Si(001) 21 93
4.6 Выводы к главе 99
Глава 5 Исследование силицидов Fe3Si и -FeSi2, полученных методом соосаждения 100
5.1 Формирование пленок при соосаждении Fe и Si 100
5.2 Структура и магнитные свойства силицида Fe3Si, полученного соосаждением Fe и Si 107
5.3 Структура и магнитные свойства силицида -FeSi2, полученного соосаждением Fe и Si 116
5.4 Выводы к главе 119
Заключение 121
Список литературы
