Введение
1 Литературный обзор 8
1.1 Методы получения дихлорсилана 8
1.1.1 Реакции прямого синтеза 11
1.1.2 Реакции гидрирования галогенсиланов 12
1.1.3 Реакции диспронорционирования трихлорсилана 14
1.2 Методы глубокой очистки дихлорсилана 18
1.2.1 Химические методы очистки 20
1.2.2 Методы очистки, основанные на физико-химических превращениях примесей 21
1.2.3 Физико-химические методы очистки 22
1.3 Газохроматографический анализ дихлорсилана 32
2 Идентификация и аналитическое определение содержания примесей в дихлорсилане. Исследование равновесия жидкость-пар в системах на основе дихлорсилана и трихлорсилана 38
2.1 Хромато-масс-спектроскопический и газохроматографический анализ дихлорсилана на содержание примесей органических веществ 38
2.2 Исследование равновесия жидкость-пар в системах дихлорсилан — органические примеси и трихлорсилан — органические примеси 52
3 Концентрирование дихлорсилана из смеси хлоридов кремния, полученной каталитическим диспропорционированием трихлорисилана. 64
3.1 Разработка схемы процесса получения концентрата дихлорсилана 64
3.2 Исследование гидродинамических и массообменньгх характеристик регулярной насадки 70
3.3 Математическая модель концентрирования дихлорсилана методом периодической ректификации в колонне со средним питающим резервуаром 82
3.4 Результаты расчета кинетики концентрирования дихлорсилана на колонне со средним питающим резервуаром 91
3.5 Результаты газохроматографического анализа концентрата дихлорсилана 99
4 Глубокая очистка дихлорсилана 101
4.1 Технологическая схема процесса глубокой очистки дихлорсилана 101
4.2 Математическая модель глубокой очистки дихлорсилана методом периодической ректификации в колонне со средним питающим резервуаром 103
4.3 Результаты расчета кинетики глубокой очистки дихлорсилана 106
4.4 Результаты газохроматографического анализа высокочистого дихлорсилана 109
Выводы 112
