Введение
1. Свойства, методы синтеза, анализа и глубокой очистки тетрафторида кремния. Аналитический обзор 9
1.1. Свойства тетрафторида кремния 9
1.1.1. Химические свойства 9
1.1.2. Физические и физико-химические свойства 17
1.2. Методы получения тетрафторида кремния . 24
1.3. Методы анализа тетрафторида кремния 29
1.3.1. ИК спектроскопия 29
1.3.2. Масс-спектрометрия 34
1.3.3. Газовая хроматография 38
1.4. Методы очистки SiF4 40
1.4.1. Химические методы 40
1.4.2. Абсорбционные методы 41
1.4.3. Адсорбционные методы 42
1.4.4. Мембранные методы 42
1.4.5. Сублимационные и дистилляционные методы. 43
2. Синтез тетрафторида кремния по реакции термораспада гексафторсиликата натрия . 45
2.1. Аппаратура и методика проведения эксперимента 46
3. Анализ тетрафторида кремния 50
3.1. ИК-спектроскопический метод анализа 50
3.1.1. Спектральная аппаратура и методика анализа газообразного тетрафторида кремния 50
3.1.2. Методика определения интегральных коэффициентов поглощения и содержания примесных веществ в ИК спектрах тетрафторида кремния 52
3.1. Масс-спектрометрический анализ 58
3.1.1. Аппаратура и методика анализа 58
4. Глубокая очистка тетрафторида кремния 63
4.1. Термодинамический расчет коэффициента разделения в системах на основе тетрафторида кремния 63
4.2. Экспериментальное определение коэффициента разделения в системе SiF4-Si2OF6 75
4.2.1. Аппаратура и методика проведения эксперимента 75
4.2.2. Результаты и обсуждение 78
4.3. Глубокая очистка тетрафторида кремния методом ректификации 82
4.3.1. Аппаратура и методика проведения эксперимента 82
4.3.2. Результаты и обсуждение 85
5. Исследование свойств высокочистого тетрафторида кремния 90
5.1. Уравнение состояния газообразного тетрафторида кремния 90
5.1.1. Аппаратура и методика измерений 91
5.1.2. Результаты и обсуждение 94
5.2. Диаграмма состояния тетрафторида кремния 98
5.2.1. Аппаратура и методика измерений 101
5.2.2. Результаты и обсуждение 106
5.3. Определение критических параметров тетрафторида кремния 111
Выводы 113
Литература 115
