Введение
1. Ростовое оборудование для выращивания монокристаллического кремния 7
1.1 Классификация кристаллизационных процессов выращивания монокристаллического кремния 7
1.2 Агрегаты и модули оборудования для выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского 9
1.3 Особенности тепловых модулей оборудования для выращивания монокристаллического кремния 30
1.4 Модули управления процессом выращивания монокристаллического кремния 36
1.5 Методы оптимизации технологического процесса выращивания монокристаллического кремния 40
Постановка задачи исследования 48
2. Термодинамические процессы при выращивании монокристаллического кремния 50
2.1 Параметры состояния системы расплав-кристалл 50
2.2 Зарождение и рост монокристаллов кремния 57
2.3 Влияние условий выращивания на качество монокристаллического кремния 63
Выводы 86
3. Модули управления процессом выращивания монокристаллического кремния 87
3.1 Модули автоматического управления ростовым оборудованием 87
3.2 Датчики в модулях управления процессом выращивания монокристаллического кремния 114
3.3 Устройство и работа пирометра 130
3.4 Устройство и работа датчика уровня 138
3.5 Датчик диаметра 146
Выводы 154
4. Получение монокристаллического кремния на высокопроизводительном автоматизированном оборудовании 155
4.1. Высокопроизводительная автоматизированная ростовая установка для выращивания монокристаллического кремния 155
4.2. Анализ опытных данных, полученных на высокопроизводительном ростовом оборудовании 159
Выводы 164
Заключение 165
Список использованных источников 167
Приложения 179
