Поток высокочастотной плазмы пониженного давления в процессах взаимодействия с поверхностью материалов
Шарафеев Рустем Фаридович. Поток высокочастотной плазмы пониженного давления в процессах взаимодействия с поверхностью материалов : диссертация ... кандидата технических наук : 01.02.05 / Шарафеев Рустем Фаридович; [Место защиты: Казан. гос. технол. ун-т].- Казань, 2010.- 137 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/2359
