Повышение чувствительности электронно-эмиссионного датчика скорости осаждения веществ электронно-лучевым испарением на основе использования магнетронного эффекта
Черников, Виталий Дмитриевич. Повышение чувствительности электронно-эмиссионного датчика скорости осаждения веществ электронно-лучевым испарением на основе использования магнетронного эффекта : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.05 / Черников Виталий Дмитриевич; [Место защиты: Рыбин. гос. авиац. технол. ун-т им. П.А. Соловьёва].- Рыбинск, 2012.- 173 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/2212
